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高純硅烷中的ADEV微量氧分析儀應用|埃登威自動化系統(tǒng)設備（上海）有限公司

高純硅烷中的ADEV微量氧分析儀應用

高純硅烷，一種在常溫常壓下表現為惡臭的無色氣體，因其與金屬鹵化物的激烈反應以及與L`C'1的反應，不能使用氟里昂滅火劑。其熔點為-185℃，沸點為-111.5℃。提純這種氣體的工藝通常采用低溫吸附連續(xù)液化精餾的方法。在生產過程中，為確保產品的質量和**，對氣體成分的連續(xù)監(jiān)控是至關重要的。高純硅烷在半導體生產中有著廣泛的應用，如用于生長高純單晶硅、多晶硅外延片以及二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃、非晶硅等化學氣相淀積工藝。此外，它還被廣泛用于非晶硅太陽能電池、硅復印機鼓、光電傳感器、光導纖維、特種玻璃等的生產和研制。

為確保高純硅烷的生產和應用過程中的安 全與效率，ADEV的OxyTrend微量氧分析儀發(fā)揮了不可或缺的作用。這是一款適用于**區(qū)域和危險區(qū)域應用的電化學氧分析儀，符合ATEX分類（1/21區(qū)）的標準。高純硅烷中的ADEV微量氧分析儀應用

OxyTrend的主要特性如下：

  • 高精度、耐用和高**性：該電化學氧氣分析儀設計精良，能夠在各種環(huán)境和應用條件下提供持續(xù)、準確的氧氣含量讀數。
  • 寬應用范圍：無論是ppm級別的微量氧氣還是百分比級別的氧氣含量，OxyTrend都能夠進行**監(jiān)測。
  • 用戶友好：其寬顯示屏和微處理器設計使得用戶可以輕松讀取數據和操作所有數字功能。菜單操作更是簡便，只需通過玻璃光學按鈕即可完成，即使在危險區(qū)域也能實現完整的功能。高純硅烷中的ADEV微量氧分析儀應用
  • 安裝靈活：OxyTrend防爆氧氣分析儀適用于室內和室外安裝，其電子元件封裝在鋁外殼中，而傳感器外殼為316不銹鋼，可以選擇直通式或可選的KF-40連接。
  • 高性能：其電化學電池對許多背景氣體和碳氫化合物的存在不敏感，使得該儀器適用于各種應用場景。此外，OxyTrend氧氣分析儀具有18個現場可設置的ppm微量或百分比范圍，并可以設置從0.01 ppm到100%FS的自由可配置范圍。

此外，OxyTrend還具有雙線、回路供電的4-20 mA變送器功能，如果使用RS485串行總線，它還可以提供四線或五線連接接口或4-20 mA+RS485。ModBus RTU主設備或從設備可以通過菜單選擇。同時，它還可以通過RS485與ADEV 8RO4DI外部模塊連接，該模塊具有8個繼電器輸出和4個數字輸入。所有這些功能都集成在一個易于使用的包中，具有用戶友好的菜單和直觀的界面。高純硅烷中的ADEV微量氧分析儀應用

傳感器技術方面，ADEV氧傳感器基于電偶電化學燃料電池原理制造，并在嚴格的質量程序下進行生產。這些傳感器在其整個測量范圍內提供高水平的準確性、可靠性和線性。它們是獨立的，維護需求極少，無需清潔電極或添加電解液。

總的來說，OxyTrend在高純硅烷的生產和應用中發(fā)揮了至關重要的作用，確保了產品的質量和生產過程的安 全。

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